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１工藝冷卻水管道的選擇

半導體、TFT-LCD等行業的工藝冷卻水系統為避免工藝設備冷卻盤管的結垢及堵塞，對工藝冷卻水水質提出了要求。

以某半導體廠工藝冷卻水設計水質為例：電阻率＞30 kΩ· cm硬度＜0.5德國度因此工藝冷卻水管道的選擇主要考慮兩個方面的要求，一方面是對水質的要求；另一方面是對管道腐蝕的要求。

第三，塵埃粒子的檢測方法。凈化車間塵埃粒子的監測需要由質檢部操作員執行，在車間正常生產的前提下，每季度監測一次，如果車間已經停產，每半年監測一次。塵埃粒子監測時需要注意，只有車間溫度、濕度和壓差達到要求后才能進行。另外，在監測采樣時需要注意：非單向流潔凈室，粒子計數器的采樣管口宜向上；采樣點應盡量避開回風口；測試人員應站在采樣口下鳳處，并盡量減少活動；采樣過程中應采取必要措施防止過程污染。